用电弧法制的半导体半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点
纯度的化学分析
型号
Al
Fe
Ca
Cu
K
Na
Li
B
OH
DHS
20
1
1.5
0.1
3
3
3
0.3
30
DHS-A
15
0.3
0.6
0.05
0.7
1.0
0.7
<0.1
30
DHS-B
8
0.2
0.6
0.02
0.3
0.9
0.2
<0.05
30
规格尺寸：
坩埚尺寸
外径D
高度H
厚度
R*
r*
t1
t2
t3
8"
203±
0
3
153±3
5.5±1.5
3
8.5
305
30
10"
254±2
178±3
6.0±1.5
3.5
9
305
70
12"
305±2
228±3
6.5±1.5
4
9.5
305
80
14"
355±2
254±3
7.5±1.5
5
10.5
400
90
16"
404±2
305±3
8.5±1.5
6
11.5
400
90
18"
457±2
355±3
8.5±1.5
6
11.5
500
120
20"
508±4
381±3
10±3
6
11.0
500
120
22"
558±4.5
381±3
10±3
7
11.0
558
89
24"
610±4.5
381±3
11±2
7±1
11.0
610
89
